科晶真空旋轉涂膜機

產品概述：

VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

主要特點：

• 真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
• 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。
• 根據樣件規格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
• 設有12組程序，每組包含6個運行階段。
• 電機啟動快速穩定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
• 50W/24V 直流電機
• 適于在Ar氣環境中工作（真空泵放置在手套箱外）

參數：

• 電機功率：50W/24V
• 速度范圍：500-10000rpm
• 程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段
• 增減速率設置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
• 時間范圍：0-60s
• 吸盤：Φ19mm、Φ60mm

進氣口：上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現在氣氛環境下旋轉涂覆

可選加熱部分：上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數字溫控器控溫，*高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。

產品規格：

• 尺寸：450mm×280mm×340mm；
• 重量：20kg